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      8230全自動雙軸晶圓切割設備

      物聯網安全生產

      半導體封測裝備

      半導體封測裝備
    1. 8230全自動雙軸晶圓切割設備

    2. 8230全自動雙軸晶圓切割設備
      產品描述
      性能特征
      技術參數

      產品簡介

      ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低使用成本的雙軸(對向)全自動晶圓切割機。最大切割工件尺寸可達12英寸。

      特點和優勢

      ?靈活性-支持最大3英寸刀片。

      ?支持1.8KW或2.2KW大功率主軸(適用于更高要求的切割)

      ?使用17英寸觸摸顯示屏,操作界面直觀

      領先的應用

      ?硅材料晶圓/分立器件

      ?碳化硅晶片

      ?MEMS產品

      ?MEMS產品

      ?玻璃材質晶圓

      ?封裝(QFN,LED...)

      操作便利性

      ADT 8230系統使用最新開發的圖形用戶界面(GUI), 17英寸觸摸顯示屏具有更好的靈活性和視覺效果。

      其它重要特征

      ?切割效率高-大幅降低使用成本

      ?空氣主軸

      ?高精度的自動刀痕檢測及切割質量分析

      ?切割過程數據記錄和統計分析

      ?更換刀片時鎖定主軸,操作更快速、簡便

      ?SECS/GEM通信標準

      ?機器維護時可觸及系統的任何區域,帶來維護的便利性

      參數技術

      ?最大工作盤尺寸:外徑300mm

      ?X軸

        切割范圍:310mm

        進刀速度輸入范圍:0.1 - 600 mm/s

      ?Y1 / Y2軸

        切割范圍:310mm

        單步步進量:0.0001 mm

        定位精度:Within 0.002 / 310 mm;(Single step accuracy) within 0.002 / 5 mm

      ?Z軸

        最大行程:30 mm(對應2英寸刀片)

        移動分辨率:0.0001 mm

        重復精度:0.001 mm

      ?θ軸

        最大旋轉角度:380 deg

      ?主軸

        主軸類型:對向式雙主軸

        額定扭矩:0.33 N.m(1.8 KW)

        最高回轉速:6,000 - 60,000 min-1(1.8 KW)

      ?刀片尺寸:2"

      ?清洗臺

        旋轉速度:100 - 2,000 rpm

        清洗方式:二流體清洗功能

      ?動力規格

        電氣:380V AC, 50 / 60 Hz, 三相電

        空氣:500 L/min (@ 5.5 bar)

        主軸冷卻水流量:1.5 L/min

        切割水流量:最大值:3 L/min

      ?尺寸:1,220 mm × 1,550 mm ×1,850 mm

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      發布時間:2020-11-26 14:34:12

      GBS系統

      發布時間:2020-11-26 14:36:43

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